半导体设备生产厂家:济南金曼顿自动化技术有限公司,专注于半导体设备研发和供应的专业厂家。 网站地图: sitemap.xml

  • 济南金曼顿自动化技术有限公司欢迎您!
  • XML
关闭
网站首页
产品展示
客户案例
资料下载
新闻资讯
关于我们
人才招聘
联系方式

全自动提拉单晶炉

JMD-1000ADC系列全自动等径提拉单晶炉是直拉法晶体生长专用设备( Czochralski),可以实现在高压、真空和保护气氛下直拉生长晶体,像L LT YAG、 LYS、GGG、BGDYCOBspphire、化物晶体等,上称重结构和计算机实时控制系统,在保证品质量的前提下实现了直拉晶体的自动生长过程。设备的控制软件是晶体生长专家和自动控制专业人员共同完成的,经过几年的客户实际运行,其可靠性、稳定性和实用性都得到验证。 我公司可以为用户将旧提拉炉改造为自动等径单晶提拉炉。
设备特点:
高精度的传感器和控制元件
专业的控制软件,简单易学,界面友好,实时记录,控制稳定,高精度的数字中频电源
,多重保护。
可以提供多量程,多种腔体, 多重气氛,或按用户要求设计连续工作模式
技术参数:
炉体:按用户要求提供内径600-1000mm双层水冷不锈钢炉膛,或者其他结构。
电源:数字中频感应加热电源 20-100KW 6-10KHZ
气氛:真空 流动气氛 性气体保护
提拉行程:600mm
提拉精度:1微米,爬行<0.001mm
提拉速度:慢速时0-50mm/hr ,有快速手动和自动操作,光栅数字显示标尺旋转速度:可程序设定改变转速: 0-50rpm
上称重量:10kg-100kg选装;精度分率为10mg
真空系统:按用户要求选装:机械泵,扩散泵,分子泵,选装压力测量留气氛:按用户要求选装气体流量自动和手动控制,炉腔充气压力<008Mpa
感应器:中频感应线图按用户要求选装
冷却水系统:进出水会流排,水压力或流量检测,进水压力>0.2Mpa
展开
我要询价
返回顶部