设备特点:
按用户要求设计加热系统和需求温度,温度梯度。
按用户要求设计炉体尺寸。
专用的控制软件,可以按工艺实现温度、位置、转速等的协同运行
技术参数
电源:220AC 或380AC +/-10%
坩埚移动最大行程:600mm
生长区多温区自动控制,可按用户要求设计
温度:按用户要求设计
加热元件:电阻丝、硅碳棒、硅铂棒
生长区炉体内径:20-60mm
旋转采用伺服马达和步进马达全数字控制,精密滚动丝杠,保证移动精度
晶体转动可以实现 ACRT方式,加减速旋转 1-100转/分
移动速度:0.1-100mm/h
温度梯度:20-50 c/cm