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机器配置清单
■15000Kg液压缸系统
■真空腔体和真空获得系统
■石墨加热器 PID温度控制系统
■自动手动控制系统
■DCS 控制软件一套
■机器工作台和机壳
设备参数
■最高温度500℃，升温速度500℃以下<50℃/min
■晶片内温度公差<±5℃以内
■晶片的冷却速度： 300℃降到100℃，小于25分钟
■晶片绑定尺寸4-8英寸
■真空系统：
A．机械旋片真空泵 3分钟以内抽到4pa
B．真空室采用304不锈钢材质制造
安装条件：
■电源要求： 3x380VAC 6KW
■压缩空气：CDA 5-6kg/cm²
■氮 气：GNA 3-5kg/ cm²
■冷 却 水：10L/min 压力大于5kg/ cm²
