1. 不锈钢腔体内径 560mm；
2. 适合 4-6 寸籽晶键合；
3. 上下压盘压力最大 1.5T，可连续加压（最大压力可按用户要求定制）
4. 上下压盘最高温度 450 度，上下压盘加热区域：250x250mm
带有超温超压保护，上下独立 PID 精确控温，精度 0.2 度，升温速率小于 40 度
/min，降温速率大于 15 度/min
5. 主机尺寸：L*D*H=1500x900x1980mm（按实际尺寸为准）
6. 真空获得和真空测量，机械泵抽空，真空度最小 10pa
7. 数据记录和自动运行程序
8. 破片率低于 3%
